用于微小缺陷檢測的光學在線檢測技術
玻璃基板能夠用于生產FPD顯示器、觸摸屏或TFT監(jiān)視器,這些產品都有一個共同點:它們代表了人與機器之間的界面。無論設備種類如何,客戶期望的是完美的觸感和外觀——無論是MP3播放器還是智能手機。對于玻璃制造商而言,這意味著持續(xù)確保最高的質量標準,以滿足客戶需求并參與全球競爭。憑借FlatPanelMaster生產線,ISRAVISION提供了下列解決方案:為實現100%監(jiān)控的基底制造過程提供靈活的全自動光學檢測技術,從而實現最高的產品質量和生產效率。
玻璃基板的生產分為若干復雜步驟,每一步驟僅占附加值的約5%。然而,生產過程中的每一階段都至關重要:每當有缺陷的玻璃基板被傳遞到下一個過程,任何進一步的精整過程都將是徒勞的——最終產品也是如此。因此,從一開始直到產品鏈的末端,均需要具備一致和完整的檢測——這不僅僅是定性的需要,也是出于經濟方面的考慮。
到目前為止,即使對于光學檢測系統而言,最小的材料厚度和微觀缺陷尺寸也是一項挑戰(zhàn)。憑借其FlatPanelMaster產品線,ISRA為高度可靠的玻璃基板無觸點在線檢測提供了完整的解決方案。該技術的核心是分辨率高達幾微米的線性掃描相機、創(chuàng)新的照明理念以及配備全面分析選項的軟件。此外,該產品線提供了四種組合模組,因此可提供貫穿整個生產過程的100%缺陷檢測,最高可兼容第11代薄板玻璃。
在玻璃基板的表面上,即使最小的顆粒聚集也會對下列電池板的生產過程產生不良影響。FlatPanelMaster–Particle是一種特殊的模組,適合在潔凈室中使用,能夠可靠地檢測微米大小的顆粒。它能夠確保只有毫無瑕疵的薄板玻璃能夠通過檢測,并傳遞至后續(xù)的鍍膜處理。所獲得的檢測數據為潔凈室中的顆粒密度大小提供了參考意見,并且能夠用于優(yōu)化初步的清潔程序。
FlatPanelMaster–Inspect模組專門用于檢測和分類玻璃缺陷(例如氣泡、劃痕、污點和夾雜物)。為滿足這一要求,它采用了創(chuàng)新的設置,將多個光學通道結合至單一傳感器內。取得專利的在線Moiré技術可測量玻璃的光學折射,并幫助檢測缺陷,可靠性和精確度都達到很高的水平。采用快速和獨立切換的LED,可以實現不同的照明效果,而無需使用復雜的多角度照明布置。這一努力取得了成效:早期缺陷檢測避免了在生產過程末端產生廢料,從而降低了成本。
完美的邊緣對于薄板玻璃的尺寸精度至關重要,并使破損風險最小化。FlatPanelMaster–Edge檢測模組采用多視圖技術(將近360度),以無可比擬的精度檢查玻璃基板邊緣,從而檢測包括裂痕、翹皮、燒痕和破損在內的缺陷。緊湊的傳感器可以集成在一個固定的位置或可移動軸上,使系統靈活輕松適應任何類型的玻璃傳輸設備。除了質量文檔以外,檢測協議還提供磨削加工過程的優(yōu)化信息。所記錄的數據可供操作員定義砂輪和邊緣切割器的最佳置換時間,以使運行時間最大化。
FlatPanelMaster–Review模組的設計旨在用于生產線末端以及離線時對于選定缺陷的微觀分析??梢酝ㄟ^使用多個縮放因子選擇并放大相關缺陷。該軟件有助于找到造成缺陷的根源,并提供了對缺陷的重新分類以便重新劃分玻璃基板等級(視需要而定)。毫無疑問,玻璃制造商做出的是一項雙重的安全質量決定。
高度精確的FlatPanelMaster所提供的無觸點檢測為玻璃基板的質量改進提供了巨大的潛力,進而提高了成品顯示器的質量。此外,根據統計數據準備的檢測數據以及廣泛的分析功能確保了透明度,并有助于建立關于生產過程的知識,作為進一步優(yōu)化的依據。憑借這些知識可以對制造參數進行調整,從而提高了生產效率并降低了成本。
圖片
圖片484_1a,484_1b
通過FlatPanelMaster(FPM)產品線實現最高產品質量和生產效率
圖片484_2a,484_2b,484_2c,484_2d
完整的薄板玻璃基板檢測解決方案
實現完美的平板顯示器
(a:顆粒計數器,b:缺陷檢測,c:邊部檢測,d:復檢模塊)